Micro-usinage chimique anisotrope et applications

 

- Modélisations et études expérimentales (Quartz, Silicium, AsGa, nouveaux matériaux piézoélectriques)

- Applications capteurs : détections piézorésistives et piézoélectriques

- Simulation et outils de CAO

 

 

Contact : Colette Tellier